二手 SPEEDFAM 20B-5L #293813756 待售

SPEEDFAM 20B-5L是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于创建具有高度平坦度的精确表面和表面。该系统是一台全自动、计算机控制的强健机器，吞吐量高，提供可重复和高质量的结果。它用途广泛,可用于处理从几毫米到几英寸的各种设备尺寸。20B-5L装有研磨头、研磨板和抛光板，均安装在精密的双轴双车头上。此磁头旨在加快工作流程,从而实现高效生产和提高产量。磨头有一个金刚石磨料，用来穿透、成形和粗糙的晶圆表面。内部冷却液用于最大程度地提高切割效率和减少过程中产生的热量。研磨板由一个大的、平坦的、有纹理的表面组成，用于减少高面积并提供横跨晶圆的均匀表面。为了优化工艺，可以用多达20个不同的参数对研磨和抛光板进行编程。这包括过程中要使用的速度、时间和压力。此外，板也可以针对不同的基板进行调整，从而可以更好地控制结果。最后，抛光板由细金刚石磨料组成，用于进一步提炼和抛光晶片表面。这样做是通过逐渐减少表面的不规则性，直到达到期望的平坦度水平。同样，可以针对不同的基板控制最终曲面，从而提高精度和可重复的结果。总之，SPEEDFAM 20B-5L是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光装置。它易于使用,能够以最小的努力提供精确、可重复和高质量的结果。其金刚石磨料元件、可调参数和内部冷却机使其能够高效有效地生产出多种表面类型，并提供一致的结果，无论使用的基板如何。