二手 SPEEDFAM 20B-5L #9363669 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9363669
优质的: 2013
Double sided lapping machine
Workpiece dimensions:
Maximum diameter: 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Maximum down force: 684 kg
Down force range: 0 to 684 kg
Plate dimensions: φ 1355 x φ 458 x 50 t
Upper plate: 434 kg
Upper ring assembly: 460 kg
Lower plate: 18-60 RPM
Frequency: 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: 180 φ x 500 st
Breaker capacity: 125/75 Amps
Main motor: 15 kW
Ring gear motor: 3.7 kW
Sun gear motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.1 kW
Air pressure: 5-6 kgf/cm², 127 N1/min (5.5 kgf/cm²)
Carrier / Ring gear / Sun gear
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Power supply: 200/380 V, 50/60 Hz, 21.1 kW, 3 Phase
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L是一种通用的精密晶圆研磨、研磨和抛光设备。它旨在在各种材料和基材上产生高质量、超平坦、精确纹理化的表面。该系统采用独特、动态、自装卸装置，与20英寸晶圆研磨抛光机集成，快速准确地加工基板。它结合了特殊的人造金刚石研磨和研磨表面，为最精确的平磨和抛光结果。该机配备了先进的自动喷水冷却系统，以保持必要的工作温度。20B-5L设计用于需要精密晶圆研磨、研磨和抛光的一系列研究、供应和制造作业。其模块化、多功能的设计提供了最大的灵活性，以生产包括硅、多晶硅、二氧化硅、砷化的、氧化铝和石英玻璃在内的一系列基板。也适用于微电子或MEMS的高精度生产。该工具配备了高质量的2轴数字读出、PLC控制的伺服电机驱动器以及集成的数据收集资产，允许对每个周期的运行进行精确控制和监控。此外，它还为用户安全提供了一系列先进的安全功能，如紧急停止按钮、研磨引擎盖安全功能和防故障护门。SPEEDFAM 20B-5L配备了多种生产力资源,包括一整套流程优化功能,可获得最准确的结果。它具有多级操作控制，保证了均匀的效果，最佳的研磨，研磨，抛光。它还支持对工艺参数的全方位设置，如润滑油压力、研磨抛光速度、材料去除率、折边等，为每个循环提供精确的结果。最后,20B-5L提供了符合人体工程学的设计,便于操作和设置。它也是紧凑、经济实惠的，使得它非常适合预算有限的紧张生产空间。通过所有这些功能,SPEEDFAM 20B-5L是需要精确研磨、研磨和抛光的研究和生产操作的理想选择。
还没有评论