二手 SPEEDFAM 20B #9294601 待售

SPEEDFAM 20B是晶圆研磨、研磨和抛光设备.该系统旨在提高同时研磨、研磨和抛光多个晶片的精度和效率。该装置能够一次处理多达20个晶片，吞吐量高达每小时5,000个晶片。SPEEDFAM 20 B由研磨单元和研磨/抛光单元两大部分组成。研磨单元由三个站组成；闸站、粗磨站、精磨站。闸站用于为研磨过程打开晶片。晶片最初开放后，移至两个连续的研磨站。粗磨用大磨石进行，细磨用细级磨石进行。在栅格过程中，晶片通过空气膜室以获得一致的质量结果。研磨/抛光单元由五个阶段组成；制备、预抛光、抛光、后抛光和检查。制备站用于在研磨/抛光工艺之前冲洗晶圆表面的安装浆料。之后，使用预抛光级来降低晶片的表面粗糙度，使其更接近所需的光洁度。此阶段之后是抛光阶段和抛光后阶段,在这些阶段进行进一步的表面平滑,并将表面光洁度提高到所需的水平。最后,对晶片进行检查,以确保它们符合要求的规格。20B能够实现极高的表面光洁度、损坏和平整度,所有这些都超过了行业的最高标准。再者，它独特的设计允许它处理各种晶圆尺寸，从75纳米到500纳米。这使得它成为许多半导体制造应用的理想选择。此外,20 B是一台全自动机器,具有集成的PLC控制单元,用户可以设置自己的加工参数,实时监控研磨、研磨和抛光过程。简而言之，SPEEDFAM 20B是一种高效的晶圆研磨、研磨和抛光工具，能够实现高度精确的表面光洁度、平整度和芯片损坏。此外，它的自动化性质和一次处理多个晶片的能力使得它成为大容量晶片处理的绝佳选择。