二手 SPEEDFAM 20B #9363838 待售

SPEEDFAM 20B是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为基材加工提供最高性能和高效的晶圆生产。SPEEDFAM 20 B功能为15英寸。用于精磨的板材，一个9英寸。用于研磨的载波表,以及5英寸。用于抛光的托架表。该机还配备了MicroPass变速抛光头，可提供高达10 μ m的最大材料去除速率。对于过程控制，20B系统还带有用户友好的图形界面来管理抛光、研磨和研磨程序。20 B单元的抛光面积在桌子正面有一个压力歧管，可以用来改变抛光过程的压力。抛光板还有两个独立的抛光头，利用变速电机，允许微调抛光速率。此外，机器还有一个外部夹具机，用来轻松调节基板和板材之间的间隙。SPEEDFAM 20B还为研磨和研磨活动提供自动梳妆台工具。这使用户能够自动打扮研磨和研磨工具,而且用户干预最少。梳妆台有一个控制器，可以设置梳妆台参数，监控梳妆台活动。SPEEDFAM 20 B资产的研磨面积利用旋转电动机提供高精度研磨。电机变速范围高达15000转速/分钟，具有极好的重复性。该机还配备了3轴（X、Y、Z）配合研磨运动的可编程头。压板还具有真空固定装置，以确保磨削过程中基板的最大附着力。20B型号的研磨区域配备了两阶段研磨工艺。这样就可以完成预研磨过程和精确研磨过程。研磨过程还利用可调节的夹具设备来实现可重复的研磨参数。研磨还有一个变速马达，以允许最佳的材料去除速率和一个内置的安全系统，防止操作员受伤。为了安全起见，20 B还采用了一种轻型窗帘，作为操作员与机器研磨抛光区之间的安全屏障。无论何时操作员进入该区域，灯幕都会脱离，并在操作员离开该区域时重新启动。SPEEDFAM 20B还有一个内置的清洁装置，以确保机器的所有区域不受污染。该机包括自动介质填充/冲洗、空气过滤和静态消除工具。总体而言,SPEEDFAM 20 B是一种出色的晶圆研磨、研磨和抛光设备,可提供最佳性能和高效的晶圆生产。凭借其自动梳妆台模型、变速电机、内置安全系统和清洁系统,20B为基板的精磨和抛光提供了一个包罗万象的解决方桉。