二手 SPEEDFAM 20B #9377480 待售

SPEEDFAM 20B设备是一种晶圆研磨、研磨和抛光系统,旨在提供卓越的性能和高质量的结果,同时尽量减少操作员的干预。此单元既坚固又用户友好,具有几个关键功能,可提高并行工艺在多个晶圆直径和厚度方面的总体吞吐量。SPEEDFAM 20 B机采用集成控制器、精密研磨和止动块的三元工具以及主轴和磨轮电机组件。资产控制器配备了独立管理研磨、研磨、抛光步骤的双高精度微处理器。此外,与模型控制器结合使用的单相全桥电动机驱动器可对主轴组件提供高达1,000 RPM的精密电动机控制。20B设备内的精密研磨和抛光块由铸钢制成，为薄片和厚片加工提供了最佳性能。研磨和抛光块还具有高度的平坦性和表面光洁度，以确保一致的，可重复的结果。包含在20 B内的主轴和砂轮电机系统能够在所有四个砂轮上达到2.5 RPS的速度。磨轮上的低砂砾金刚石涂层具有出色的磨削性能和非常精细的控制能力。主轴是可调的,允许快速车轮改变与最小的操作干预.SPEEDFAM 20B单元还配备了气体控制机，为操作员确保清洁的工作环境。该工具不断监测和调整气体流量，以优化研磨和抛光结果，并确保SPEEDFAM 20 B资产的最高性能水平。总体而言,20B是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光模型,旨在以最小的操作员干预度提供一致、可重复的结果。它坚固的结构和用户友好的特点使它成为各种晶圆尺寸和厚度的高容量和低容量生产的绝佳选择。