二手 SPEEDFAM 21B-5P-II #9273133 待售

SPEEDFAM 21B-5P-II是一种用于各种精密工程作业的高容量、自动化研磨、研磨和抛光设备。这种晶圆研磨，研磨和抛光系统设计用于研磨两侧的较大等级，基于Ceria基板。该装置的专利泵浦Sump™设计循环泥浆用于研磨和抛光在低，均匀的压力一致的结果。这台机器的加工面积为21英寸,可以处理200毫米Dia和610毫米L的基板。它的载荷容量从500磅到2000磅不等,可以进行广泛的加工应用。高速主轴为研磨机提供了优越的光洁度，还可以容纳可选的中心孔稀释板以提高精度。该装置的高效振动过滤机提供了优越的表面精加工和非常低的粒径分布。21B-5P-II具有高性能的双区域研磨和研磨头,使操作员能够根据其独特的研磨、研磨和抛光要求快速准确地加工每种基板。此磁头允许8000 rev/min的最高速度,并自动调整到各种应用程序。晶圆研磨、研磨和抛光工具建立在一个重型框架上，该框架设计用来承受振动并有助于去除晶圆中的颗粒。该资产配备了带有彩色液晶触摸屏界面的直观控制模型。该控制设备为每个应用程序提供定制的编程以及自动和手动控制选项。SPEEDFAM 21B-5P-II还有一个辅助站，用于装卸基板以及去除氧化铝磨料。这种晶片研磨、研磨和抛光系统只需极少的维护，并采用离心干燥机和旋风分离器，将空气中的微粒和液体雾气从设备排出的空气中分离出来，从而提供清洁干燥的处理。此外,机器被封装在隔音箱中,创建一个安静的工作环境。总体而言，21B-5P-II是一种高效可靠的晶圆研磨、研磨和抛光装置，适用于加工各种基材，结果一致。这台机器非常适合需要高精度结果的精密工程师和行业。