二手 SPEEDFAM 22B-5L #9276642 待售

SPEEDFAM 22B-5L是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于精密抛光以及调节和重塑各种晶圆基板。它是一个通用的系统,可以处理复杂的过程,包括精磨、研磨和抛光各种材料、形状、尺寸和厚度。22B-5L由许多主要元素组成：主轴组件、磨料砂轮、研磨板、抛光垫和样品支架。SPEEDFAM 22B-5L的主要结构部件是主轴组件，其中包括安装在钢架中的无刷交流电动机，以250至10000 RPM的可调转速旋转。马达连接到磨料砂轮，该砂轮被封闭在保护罩中，位于样品晶片或支架附近。磨轮选择包括磨料树脂轮和金刚石轮。研磨板安装在砂轮上方,由细砂砾介质组成,该介质在表面磨损后可变速抛光。抛光板安装在研磨板的末端，用于进一步精加工和细化表面。样品支架包括气动和手动样品夹具、可调紧固销和样品加长器导轨，使晶片能够沿着工作表面精确和可重复定位。22B-5L是为提高安全性而设计的,具有用于砂轮和样品支架的防振表,在设备压力过大时自动关闭,以及用于精确无级速度控制和负载变化自动补偿的先进控制机器。SPEEDFAM 22B-5L提供了简化的控制面板操作和强大的PC软件,从而增强了过程监控和可编程性。模块化设计还允许升级或添加多个选项,例如轴倾斜工具、晶圆旋转能力和用于资产测量的三轴激光干涉仪。22B-5L是生产各种高精度元件和晶片的可靠和精确的理想模型,可实现更清洁、更密集的表面饰面、更快的加工率和改进的工艺定义。这种设备易于维修和维护，并产生一致的结果，使其适合于低批量和大批量生产。