二手 SPEEDFAM 22BF-4 #9057336 待售

SPEEDFAM 22BF-4是专门为硅和复合半导体晶片生产而设计的晶片研磨、研磨和抛光设备。该系统提供了速度、准确性和可重复性,以减少光刻过程中的宝贵时间和步骤。磨削过程采用三轴运动控制单元来控制旋转磨料刀架在晶圆表面的定位和运动。这种运动控制机器提供0.001毫米（10微米）的位置分辨率，确保了非常精确和可重复的结果。刀具还具有200至10,000 rpm控制的主轴转速，可调进料速率为0.1至20mm/秒，允许对研磨过程进行微调。研磨过程由两台交联机器组成，分别用于晶圆的平面研磨和抛光。通过使用浆浆泵，将磨料泵送到晶片表面，同时控制在压力和流动中，以达到预期的效果。机器使用金刚石磨料，以确保水平研磨和抛光，而不挖出或损坏晶片。两台研磨机的转速均为150至7,500 rpm,可进行工艺优化。抛光工艺用于平滑粗糙的边缘，去除晶圆表面的小坑和划痕。抛光阶段采用化学机械抛光机（CMP）或研磨站,具体取决于产品的产量要求。CMP机器对晶片的尺寸进行了改进的抛光、研磨和分析。利用计算机控制的抛光头压力、压板速度和抛光时间，CMP机提供高产生产，对抛光工艺控制一致。22BF-4拥有先进的资产设计,将研磨、研磨和抛光工艺结合到一个平台中,以提高效率。此模型消除了在过程中手动操作和技术压力应用的需要。总体设计减少了重复,同时提供了精确的结果。此外，设备还配备了安全功能，以确保操作过程中的操作员安全。SPEEDFAM 22BF-4是专门为晶圆研磨、研磨和抛光而开发的一种强大而可靠的生产机器。凭借其先进的功能和系统设计，该单元可用于生产高质量、可重复的晶片。它是提高半导体晶圆生产效率和安全性的重要工具。