二手 SPEEDFAM 24 BTAW #9366022 待售

ID: 9366022
Lapping machine, 24" Solid plate with polishing pad (4) Retaining rings, 9” Conditioning ring inside diameter: 11 7/8" (4) Pneumatic pressure plate Dispensing system Electrical component Cylinders Control valve Power supply: 220 VAC, 3 Phase.
SPEEDFAM 24BTAW是为半导体工业设计的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统具有强大而精确的自动化性能,可提供优于传统圆盘磨床的研磨、研磨和抛光。SPEEDFAM 24 BTAW在研磨、研磨或抛光晶片时提供卓越的精度和重复性。它能够在几纳米范围内处理重复性。这样可以确保实现一致和统一的结果,从而减少过程时间并提高生产率。这个高度复杂的单元包括各种组件。24BTAW的主单元由一个重型铁板、精密地主轴、X/Y微米表和重型Z轴伺服电机组成。X/Y表由动态平衡、空气轴承线性运动级和精密接地电动机支架组成,提供精确的运动控制。Z轴伺服电动机具有增量编码功能,允许用户控制晶圆的高度。除主机外,24 BTAW还包括一个金刚石磨削杯轮、一个金刚石研磨轮和一个抛光轮。这些工具可以以各种方式配置,以满足特定应用程序的需求。例如,杯轮可用于粗磨,研磨轮可用于精磨,抛光轮可用于精加工。该机还设有抛光室,允许用户完全自动化抛光过程。还可以定制SPEEDFAM 24BTAW以满足特定应用程序的需求。它具有集成的安全和控制系统,允许用户调整工具设置以满足他们的需求。资产也可以设置为手动或远程操作。SPEEDFAM 24 BTAW是一种全面的晶圆研磨、研磨和抛光模型,为半导体行业提供了精度和可重复性。它的多用途组件允许定制以满足每个应用程序的需求,其精确、自动化的控制设备确保了一致的质量并缩短了处理时间。
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