二手 SPEEDFAM 24B #9217162 待售

SPEEDFAM 24B是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于生产精密的平面零件。用于使半导体晶片和其他细腻元件的介电和金属表面变平和光滑。这个系统由一个顶板和底板组成，两者都可以容纳多达24个晶圆。板材表面采用铸铝制成，涂覆陶瓷材料，性能最佳。压板顶部与齿轮主轴电机相连，可移动压板并调节磨削和抛光所需的压力。主轴马达连接到一个集成的控制模块，该模块允许调整研磨/抛光力。板底安装在直线轴承上以获得精确的表面平面度。对于晶圆磨削，压板顶部装有一个可以向上运动的磨轮。控制模块允许操作员选择最合适的研磨压力、电机扭矩和磨砂轮类型。此外，控制模块还允许选择晶片条件下的最佳研磨模式。对于晶圆研磨，压板底部装有一个细金刚石磨料碳化硅纸。碳化硅纸的压力是可调的，可以从单元外控制。而且，压板的速度是可调的，以调节研磨压力。晶圆抛光操作是通过使用装有旋转刷子的压板来完成的。刷子由精细的金刚石砂砾组成，能够在不造成损坏的情况下抛光晶片表面。旋转刷子的压力和速度可以调整，以适应特定的抛光要求。24B还有两个可选的附件模块，一个是自动晶片装载机，另一个是光电带式电镀机。自动晶片装载机允许更快的生产处理，而光电带状电镀工具则可以实现厚度不超过0.04毫米的均匀电镀层。综上所述，SPEEDFAM 24B资产具有多种设计特点和可调特性，适合晶圆研磨、研磨和抛光。它的可选附件使其能够更高效地用于精密平面的生产，使其成为广泛工业应用的理想选择。