二手 SPEEDFAM 24BTAW #293636360 待售
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ID: 293636360
优质的: 1991
Single side lapping machine
Plate, Φ 24"
Ring area: 254 Sq.inch
Cylinder, 3.26"
Down pressure per head: 264 Lbs
Hold down diameter, 9"
Plate speed: 87 RPM
Includes:
(3) Down pressure air cylinders hold downs
Water cooled table
Air acutated parts handling table
Abrasive slurry distribution system
Cycle timer control (30 minutes)
Power supply: 230 V, 60 Hz, 3 Phase
1991 vintage.
SPEEDFAM 24BTAW是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备.该系统能够在一系列晶圆基板上产生高质量的表面。SPEEDFAM 24 BTAW最多配备24个磨头,每个磨头都能控制垂直和水平进给率。这样可以非常精确地控制磨削距离,从而获得最佳的加工精度。24个磨头组织成三列五列,每列根据应用的具体要求在速度和深度上都是可调的。研磨过程由气动和液压气缸组合控制。这样可以确保极精确的研磨压力和运动。气动缸允许对研磨过程进行微调,而液压缸提供均匀且恒定的研磨压力。抛光工艺也很精确,允许广泛的预设操作参数。这确保了准确和可重复的结果。抛光头在速度和深度上都是可调的,允许严格控制过程。该单元还支持针对较大工件的多个光盘抛光设置。24BTAW由耐用部件构成,包括不锈钢车身、铝盖和加固密封件。封面包括多个窗口,可根据需要轻松监控流程和调整参数。该机配备了直观的手持式控制器,可快速方便地进行参数更改。24 BTAW是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光工具,非常适合高精度晶圆加工。由于其可调的操作参数和坚固的结构,这项资产能够产生出色的表面。它能够处理多个圆盘抛光设置,因此适合多种应用。
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