二手 SPEEDFAM 24DTAW #9007420 待售
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SPEEDFAM 24DTAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于提供20 μ m的非定向无刮擦表面。该系统设计用于硬质材料如碳化钨、陶瓷和复合材料的微加工。它具有自动主轴驱动器、伺服驱动的z轴以及各种处理头配置。晶圆研磨过程通过用户输入自动优化,提供尽可能高的性能水平。该单元采用24主轴驱动机构,提供研磨轮、研磨盘、抛光头相对于晶圆的精确定位。这样可以确保加工操作的准确性和可重复性。传动机还为晶圆研磨工艺提供了高速度和高精度。该工具可以达到高达2000 RPM的速度,峰值扭矩为500 km。资产的伺服驱动z轴可确保精确、可重复的晶圆放置和定位。可以设置z轴以将晶片升降到研磨、研磨或抛光过程中。这是由一个精密编码器实现的,它读取晶圆表面的运动并将指令传递回驱动器控制器。该型号配有多种处理头,其设计适合特定的晶圆尺寸和厚度。磁头也可以配置为研磨、搭接或抛光不同的材料和表面。这为用户提供了一种通用设备,可以根据其特定的加工需求进行定制。24DTAW拥有一系列用户友好的功能,使其更易于使用。集成接口提供机械性能的实时反馈,数据记录功能监控整个晶圆研磨、研磨和抛光过程。此外,系统还具有进程中诊断功能,允许用户诊断和诊断任何与设备相关的问题。总体而言,SPEEDFAM 24DTAW是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光机,为用户提供最高水平的准确性和可重复性。刀具的模块化设计使其易于根据特定需求进行配置,从而为微加工部门提供了一个通用的加工解决方桉。
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