二手 SPEEDFAM 24GPAW #293635730 待售

SPEEDFAM 24GPAW是晶圆研磨、研磨和抛光的高效设备.它设计用于半导体晶片的磨削、研磨和抛光，直径不超过200毫米，无论是在一次操作中还是在多步骤过程中。该系统高度自动化，包括一个独特的、集成的自动晶圆处理单元。研磨、研磨和抛光过程始于晶片表面的研磨。这可以由原位磨床或标准磨台完成。磨床上装有高速旋转的磨轮，用以减小晶片表面。一旦表面被正确切碎，内部磨削就开始去除更多的颗粒污染物，以改善表面光洁度。内部磨削可线上或线下进行，可根据应用需求进行详细调整。研磨后，采用研磨工艺光滑细化表面。研磨通常用贴在平面上的金刚石研磨膜完成。晶片放在研磨板上，受到润滑剂、金刚石晶体和气压的组合。这个过程有效地使晶圆表面恢复了活力。一旦研磨过程完成，抛光过程用于降低表面粗糙度，并从晶圆表面去除进一步的颗粒污染物。抛光工艺一般采用装有磨料的旋转抛光轮。然后，这种化合物受到压力和机械作用，导致光滑、低划痕的光洁度。通过SPEEDFAM超声辅助抛光技术进一步优化工艺，提高了抛光工艺的成功率。SPEEDFAM 24 GPAW是一种高效、自动化的工具,它将研磨、研磨和抛光工艺合并为一个单元。这有助于使工艺更加可靠，提高成品晶片的精度和质量。它是任何晶圆生产线的理想资产。