二手 SPEEDFAM 24GPAW #293672291 待售

SPEEDFAM 24GPAW设备是一台先进的精密晶圆研磨、研磨、抛光机，旨在帮助半导体制造商实现最高水平的生产吞吐量。该系统采用专利的低振动、低温工艺,可实现高达每小时1,400晶圆的超高吞吐量。该装置还能够提供与50Å RMS一样精细的表面光洁度，即使在像蓝宝石这样坚硬易碎的材料上也是可以实现的。SPEEDFAM 24 GPAW使用预磨轮的独特组合进行晶片加工以去除库存,并使用研磨/抛光板进行最终精加工。预磨轮经过优化，可在整个晶片表面实现一致的表面去除速率，并辅以获得专利的低振动工艺，大大降低了易碎晶片基板损坏的风险。同时,研磨和抛光板最大限度地减少了表面研磨痕迹,使表面光洁度达到要求的单程公差范围内,24GPAW台机器易于设置和操作,并具有预磨轮和研磨/抛光板的直观控制和参数设置。此外,该工具还具有一个用于批量使用的自动介质传送资产,可实现长达48小时的无人值守操作,以及一个闭环介质和复合清洁模型,可防止介质在过程之间受到污染。还提供了可选的闭环流程监控设备,以确保流程在安全参数范围内进行管理。为确保最大安全，24 GPAW有几个安全特点，如激光传感器检测研磨板表面的物体，两手启动系统确保完全控制，以及自动门的锁定机构。此外,该设备是按照CE标准构建的,并经过了广泛的可用性测试,以确保易于操作。SPEEDFAM 24GPAW经认证可用于各种工业环境，包括洁净室和真空控制生产线，并有广泛的远程维护和维修服务支持团队作为后盾。总而言之,SPEEDFAM 24 GPAW是实现精密晶圆研磨、研磨和抛光的最高生产吞吐量的完美工具。