二手 SPEEDFAM 28B-5L #9259365 待售

SPEEDFAM 28B-5L是一种卓越的晶圆研磨、研磨和抛光设备,其设计可产生高质量的表面饰面和精确的厚度公差,而无需繁琐的体力劳动。该系统适合于高效制备多种半导体基板，如硅、砷化​​氙和石英晶片。这种装置能够产生高质量的表面，光洁度非常光滑，而地下的损坏则最小化。它由一个机动化的单主轴砂轮组成，可达到小于1 µm Ra的表面光洁度和高达+1 /-2µm的厚度公差。电机是可调的，提供6000 rpm的最大研磨速度，而研磨轮可以高达72000 rpm的转速旋转。它的灵活性超过了许多竞争对手。28B-5L台机器还具有一个集成的研磨和抛光装置，用户可以创建低反射率的表面，并具有非常紧密和一致的脱纸率。研磨和抛光单元由两块可单独调节的压板组成，可控制研磨/抛光压力，以精确去除材料。此生产设置非常适合实现+6 /-8µm的最终厚度公差和小于0.1µm的镜面表面饰面。此外，集成的微粗抛光设计可产生高达0.2µm Ra的低缺陷表面光洁度。液体冷却剂工具可确保最佳冷却剂温度，提高加工稳定性，进一步提高表面光洁度质量。SPEEDFAM 28B-5L还配备了用于中央碎片清除和过滤的先进资产，大大提高了工具的适用性和使用寿命。总体而言,28B-5L模型旨在提供高产量的优越晶圆研磨、研磨和抛光能力,是任何希望及时可靠地产生高质量结果的人的终极解决方桉。