二手 SPEEDFAM 28B-5L #9276644 待售

SPEEDFAM 28B-5L晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种多用途系统,设计用于晶圆和薄基板的高精度研磨、研磨和抛光。该装置能够处理广泛的过程，如表面平整度、粗糙度、强调度、平滑度、磨损度、氧化物抛光、硬掩模和介电层。28B-5L台机器配备了变速直驱电机,可提供卓越的性能和可靠性。主轴电机具有可编程的数字转速控制和动态转速调节的精度.该工具还可以进行调整，在其整个工作范围内提供恒定的扭矩。为了控制晶片的研磨、研磨和抛光过程,该资产具有自动过程控制模型,该模型旨在确保所有与速度、压力、时间、进给速率和压力有关的参数保持在最佳范围内。SPEEDFAM 28B-5L设备还配备了通风良好的全长工作室，单晶片处理应用可以保持无尘。系统还有一个数字触摸屏接口，允许操作员快速更改流程参数。该单元还包括一台用于特殊晶圆抛光应用的高抛光机。该工具旨在提供最高质量的表面光洁度，并提高晶片的产量和可重复性。28B-5L资产还配备了排气模型，用于捕获和过滤处理过程中产生的任何水分或灰尘。这样做是为了防止晶片受到任何污染。总体而言，SPEEDFAM 28B-5L设备的设计符合晶圆研磨、研磨和抛光的最严格要求。该系统旨在提供一致、高质量的结果，满足基材加工和实现精确计量标准的严格要求。该单元广泛应用于半导体和平板显示行业，具有广泛的工艺要求。