二手 SPEEDFAM 28B-5L2M #9225432 待售

SPEEDFAM 28B-5L2M是一种最先进的高精度晶片研磨、研磨和抛光系统,设计用于硅片和扁平基板的精加工生产。这种尖端设备利用了先进的MEMS工艺,并提供了最高的产量和最低缺陷的一致结果。该系统具有许多令人印象深刻的功能，从对传入晶圆特性的过程控制开始。实时晶片监控单元可确保在过程的每个阶段之前和期间对每个晶片进行正确的评估。机器人晶片处理机还保证晶片的精确对准，以防止不均匀研磨、研磨和抛光。单一集成的CNC工具可管理所有流程功能,提供灵活性和可重复性。资产可以同时处理串行和并行处理,从而允许一次完成更多的产品。磨削部分的特点是主轴具有七个自由运动轴，允许晶圆边缘的高清晰度。内置的空气真空有助于通过去除表面残留的磨料颗粒来减少加工时间。研磨部分非常高效,具有速度控制功能,可实现高达450rpm的转速。强大的电动机由变频器提供动力，并提供可重复、精确的结果。抛光部分是完全自动化的,允许成型和抛光过程.这两个抛光板能够独立运行，确保晶片的所有区域均匀抛光。该模型还具有提供抛光后质量检查的额外好处。总体而言，28B-5L2M是晶圆研磨、研磨和抛光工艺的可靠、精确的解决方桉。其坚固的结构和先进的技术使其成为制造高性能硅片的理想选择。