二手 SPEEDFAM 2B-9L #9276665 待售
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SPEEDFAM 2B-9L晶片研磨、研磨和抛光设备是晶片基板加工的关键解决方桉。利用此系统,您可以实现难以置信的晶片间均匀性,同时还可以保证卓越的过程可重复性。2B-9L单元的关键组成部分是它的两个离散在线处理站。第一站"研磨",包含两台独立控制(X和Y)的气动晶圆研磨轴机。该站包括一个振荡输送机,允许精确,可重复调整研磨级压力,使你能够精确研磨任何类型的晶片。下一站为「Lapping」站。这就是将晶片放在固定夹具上并压在旋转抛光介质上的地方。本站还设有一系列有助于均匀分配压力的压实室;结果是整个晶片表面完全均匀。第三处理站为「抛光」站。该站旨在进一步细化和光滑晶片表面,消除任何残留的缺陷。该站利用一系列抛光轮子来机械地消除任何残留的缺陷,然后通过一系列的发烧友来提供与晶片的平整度和污染控制要求相匹配的精加工光泽。SPEEDFAM 2B-9L的灵活设计也允许进一步定制,如顺序处理、工艺周期时间优化和可选的助推器整理。此外,此计算机还提供了多种手动和自动化的过程控制选项,包括存储最多999个您喜欢的配方(和从USB驱动器导入保存的配方的能力)、实时状态监视以及多个工作站的操作员控制。总体而言,2B-9L是晶圆处理的理想解决方桉,可提供可重复、精确的结果。它易于使用,对整个过程提供准确、精确的控制。使用SPEEDFAM 2B-9L工具,您可以对晶圆加工工作的质量和产品输出保持信心。
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