二手 SPEEDFAM 30B-5P-2M-N #9410061 待售
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SPEEDFAM 30B-5P-2M-N是一种高度精确可靠的转键晶片研磨、研磨和抛光设备,用于在各种半导体材料上生产平坦和平行表面。该系统采用5轴行程配置,内置PoliPol提取器和集成的洗涤/评估站。该单元包括一个带有单个180度索引停止的旋转表，提供位置稳定性，并使操作员能够快速更换刀具。三个加工室-两个磨削和一个抛光-配有两个负载锁,每个负载锁具有150公斤的容量和一个独特的尺寸评估站。研磨室包括两个75英寸。3-jaw chucks and two 3 I.D. grinding spindles subcable of unidirectional currence at 8500 rpm.主轴安装在悬臂电动端效应器上，该端效应器在整个研磨过程中穿过晶圆的顶部表面。每个主轴都有一个无刷电机，用于减少振动的机构，以及无级控制可变主轴速度。抛光室包含用于抛光晶片背面部分的真空卡盘。主轴是无刷扭矩马达，带有炮塔铸造，以减少热量从样品传递到马达。炮塔从底部可调，允许操作员精细调整转速。30B-5P-2M-N是一个先进的研磨和抛光机，用户友好，彩色触摸屏，提供图形设置，显示和数据分析研磨和抛光过程。此工具还包括参数信息保存/检索功能以及自动启动/自动停止操作。SPEEDFAM 30B-5P-2M-N具有各种速度、大小和配置,是各种工业和研究用途的理想资产。
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