二手 SPEEDFAM 32 B #9204028 待售
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SPEEDFAM 32 B是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为需要高精度和重复性的应用而设计。该系统能够使用直径达8英寸、厚度达0.125毫米的晶片,适用于半导体晶片、翻转芯片和石英晶片的精密加工。SPEEDFAM 32 B单元由连接到精密砂轮的单轴电机组成。磨轮采用立方氮化硼(CBN)或金刚石等超磨料材料制成,提供了精密研磨、搭接、抛光晶片表面所必需的切割动作。切削动力通过电机和砂轮传递到晶片表面。切割功率可调,机器可以高达10,000 rpm的速度运行。该工具还配备了中央心轴卡盘,作为可选真空卡盘的安装表面。真空卡盘用于在加工过程中牢固地固定晶片,从而获得紧密的表面光洁度。此外,研磨轮可以利用中央心轴卡盘精确地居中于晶片表面。然后,砂轮配有加压油雾资产,有助于减少晶圆的磨损、温度升高和热变形。该模型还有助于将切削力均匀地分布在晶片表面,从而确保加工结果的精度和可重复性。32 B还配备了磨轮旋转方向控制开关,使用户可以微调磨轮的旋转方向,提高磨削性能。磨轮可以设置为顺时针或逆时针方向旋转,从而为用户提供加工方面的额外灵活性。机器还可以使用可选的主轴附件处理外部晶片。这允许用户处理与中央心轴卡盘不兼容的晶片。最后,除尘被整合到设备的设计中。这有助于保持操作环境清洁,也有助于防止不需要的碎屑进入磨轮。该系统还具有集成冷却剂单元,有助于减少车轮磨损。
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