二手 SPEEDFAM 32 BTAW #9354406 待售

SPEEDFAM 32 BTAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在提高半导体行业晶圆基板的吞吐量和产生优质表面。它是为满足频率应用的需要而设计的，例如生产具有先进光束尺寸控制的均匀曲面。该系统由几个设计用于一次加工单个晶片的单元组成。从研磨阶段开始，该单元采用多轮研磨头，采用两个精密驱动的研磨轮，为晶圆提供快速、精确的研磨。磨头可调节，可容纳150毫米至300毫米的各种磨轮直径。该阶段还利用CCD摄像机监控，帮助确保研磨过程的高精度和重复性。研磨完成后，晶片被送至研磨阶段，通过控制移液器送入的研磨颗粒浆料将其平滑。研磨站设有一个封闭的研磨室来控制环境，以及一个强大的研磨电机来提供最高轮廓的控制。自动浆料补充机可确保在每个磁带循环中输送精确数量的磨料颗粒。机器的最后阶段是它的抛光阶段，它配备了现代化的抛光头，能够在尽可能短的时间内提供高度均匀的表面饰面。这个磁头使用旋转和振动运动的组合来实现晶圆表面的平面化。它配有多个抛光垫，每个抛光垫都装有不同的化学成分，以产生高度均匀的抛光。此外,抛光站还可以配备CCD摄像头来监控结果。SPEEDFAM 32旨在最大程度地提高产品产量,同时降低维护要求。先进的控制工具提供了在整个研磨、研磨和抛光过程中调整参数的灵活性。此外，它旨在降低能源需求和成本。它还可以配备一系列可根据客户需求进行调整的刀片配置。SPEEDFAM 32BTAW晶圆研磨、研磨和抛光资产具有卓越的设计和多功能性，是满足半导体工艺需求的理想解决方桉。