二手 SPEEDFAM 32 BTAW #9366202 待售

SPEEDFAM 32 BTAW是来自SPEEDFAM的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该机器具有32英寸晶圆容量,可同时进行精确度和可重复性最高的研磨和抛光。该系统提供手动和自动化的单面和双面操作,用于高性能研磨和抛光晶片。SPEEDFAM 32BTAW是一个三轴单元,可提供最大的通用性以满足生产要求。有了两个独立的轮头，机器可以同时处理多个项目。该机还通过高精度的可调表和研磨板增加了灵活性，提供了高精度的定位和定位重复性。它还提供了在手动和自动方面控制之间的选择,以及在过程中对表面的测量和控制。该工具具有温度控制、电源管理、研磨/抛光压力和浆料管理等一系列过程变量。此外,它还提供了一系列分段研磨板,当结合高采样率能力和实时数据采集时,可以轻松控制过程变量。32 BTAW还配备了一个特殊的周期结束安全装置，以防止抛光板意外切换，以及一个确保适当启动处理条件的自动安全联锁资产。由于使用了可互换板的概念,该模型还允许快速、轻松地进行设置更改,从而方便访问。这消除了适应不同晶圆规格的需要。可互换板概念还允许减少车轮消耗、计量和其他成本。为确保质量和性能水平，32BTAW磨床/抛光机设备配有校准板，用于测量和调整磨轮和研磨板的相对位置。此外,该系统还与所有类型的冷却和空气轴承系统完全兼容。SPEEDFAM 32 BTAW晶片研磨、研磨和抛光装置提供了最高水平的精确度、可重复性和灵活性,使客户能够实现更好的工艺控制和更好的晶片产量,从而实现更具成本效益的工艺和更高效的生产。