二手 SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221 #9303720 待售

SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221是一种多用途机器，可用于半导体晶圆的同时研磨、研磨和抛光（DLP）。此设备提供模块化设计,以实现最大的通用性,使用户能够快速重新配置设备,以适应特定于其流程要求的各种DLP流程。该机器采用32位LoadPortTM系统,具有"即插即用"功能,可消除手动晶圆传输和在多操作处理过程中启用的情况。LoadPort无需手动干预即可自动分配和检索处理过的晶片。32 DPAW-11-T0221配备了各种专门设计用于在处理室内提供受控环境的工艺工具。集成磨损和抛光工具,包括金刚石敷料盘,旨在解决晶圆研磨、研磨和抛光的具体挑战。该装置还能够控制温度和压力，以优化晶片加工。一个集成的盖子和钟形罐子设计利用惰性大气，与空气过滤，以保持室内清洁和减少颗粒污染。还包括一个可膨胀水再循环机，以冷却加工后的晶片并保持过程稳定性。SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221利用多轴运动控制工具提供精确定时和调节的运动,以实现有效的晶圆处理。该资产还配备了自动化的负载锁，以方便更快、更高效地装卸晶片。高分辨率光学传感器为多轴运动模型提供反馈和控制数据,从而实现准确、可重复的过程。设备配备了12英寸大的彩色图形显示屏，允许用户实时监控和控制晶圆过程。可用的晶圆映射功能为用户提供晶圆表面质量的图形表示,允许他们调整工艺参数以产生所需的结果。系统还提供实时数据记录和带有警报条件的监视,以便在此过程中向用户发出任何意外情况或问题的警报。32 DPAW-11-T0221是满足严格公差和高容量DLP要求的理想解决方桉,并得到SPEEDFAM品牌可靠和性能的支持。