二手 SPEEDFAM 32 SPAW #9073252 待售

SPEEDFAM 32 SPAW
ID: 9073252
Single side system.
SPEEDFAM 32 SPAW(单板磨料晶片研磨、研磨、抛光设备)是一种高精度的机器,非常适合处理和处理各种半导体晶片。该系统完全自动化,可用于晶圆的高级磨削、研磨和抛光,使其成为任何生产或研究设施的宝贵资产。32 SPAW采用旋转台式设计,上面装有固定的金刚石磨削工具和橡胶抛光心轴。该单元能够同时研磨和抛光多达32个晶片,适用于尺寸范围为2"至4"的晶片。该机器还设计为能够以最短的安装时间处理不同厚度的晶片。该刀具由交流主轴电机驱动,允许晶片的精密研磨和抛光。金刚石研磨工具是可调的,可以在X轴和Y轴中移动,使使用者可以灵活地将研磨过程量身定制至个别晶圆,并赋予他们控制研磨规格的能力。SPEEDFAM 32 SPAW还具有独特的模块化研磨资产,配备了金刚石研磨工具的自动调整,每晶圆最多可进行8次研磨。该型号所使用的钻石质量优越,是根据正在进行的研磨和抛光工艺类型选择的。半导体的工后检查需要高度的精确度。该设备的设计符合这些要求,其板载边缘检测系统可以确定晶圆边缘的形状和位置。它还有一个前沿的数据采集单元,记录和存储研磨和抛光参数,以便提供更高的准确性和可重复性。最后,可选的串联颗粒计数器确保研磨抛光过程中产生的尘埃颗粒可以实时监测,从而使晶圆污染最小。这样可以确保只生产符合最高清洁度的晶片。32 SPAW是一种用途广泛、可靠的研磨、研磨或抛光各种晶圆的机器。它的创新功能确保晶片能够被处理以满足任何应用程序的要求,同时确保高水平的准确性和可重复性。
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