二手 SPEEDFAM 32 SPAW #9257661 待售

SPEEDFAM 32 SPAW是一种多功能晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于20mm至260mm尺寸晶片基板的研磨和抛光。它是低成本、快速吞吐量应用程序的理想选择。32 SPAW由三相磨头和集成抛光单元组成。磨头配备了强大的同步电机，可实现广泛的切削速度和高性能磨削研磨。集成抛光单元由两台无刷直流电机提供动力,可实现连续或逐块工艺自动化。完整的研磨和抛光工艺是基于PHEELS，一个复杂的软件控制系统。SPEEDFAM 32 SPAW具有九轴运动表，允许快速、精确的研磨操作，具有高重复性和高湿、干的精度。它能够在半导体晶圆基板上进行研磨和抛光工艺，如硅、砷、碳化硅和氮化铝基板。此外，该单元还配备了一个特殊的主轴安装盘架，允许在机器上放置晶片而不会造成不必要的磨损，提高了机器的性价比。32 SPAW采用高级组件设计,确保生产可靠性和使用寿命。它包括自动更换模具、自动修轮、预编程磨削抛光轮廓等多种安全特性。SPEEDFAM 32 SPAW还集成了一个先进的控制工具，允许由于自动寻路和工具加载而更快地设置，并通过闭环控制资产提高流程一致性。总体而言，32 SPAW是一种可靠、坚固、经济高效的模型，适用于广泛的晶圆研磨、研磨和抛光应用。它提供高性能、准确性、灵活性和可重复性,使其成为大容量制造环境的理想工具。