二手 SPEEDFAM 32 #293771654 待售

SPEEDFAM 32是来自SPEEDFAM Corporation的晶圆研磨、研磨、抛光设备。它旨在为各种晶片的研磨、研磨、抛光提供完整的解决方桉。系统设有双盘抛光室和两个可360度旋转的主轴头。32的强大电机能够提供高达800 rpm的研磨速率，双盘抛光轮可处理高达2000 rpm的输出。再者，砂轮可达3毫米深度，仍保持100nm至2.5 μ m的粗加工范围。该单元还配备了自动化控制单元，可让用户调整研磨压力、车轮速度和循环时间。它还具有高性能的冷却机，确保刀具能够在整个操作过程中保持一致的温度以获得最大的效果。而且，它还有一个防尘密封资产，旨在防止灰尘和异物在操作过程中进入模型。SPEEDFAM 32的设计目的是确保高精度的结果，并尽量减少碎片的产生。为进一步确保研磨和研磨均匀，设备采用两阶段工艺，将研磨工艺与抛光工艺分离。在研磨过程中，高精度的研磨轮在抛光轮轻轻去除研磨过程中产生的多余材料或不规则性之前，将材料从晶圆表面移除。为了进一步优化研磨和抛光工艺，32还提供了先进的技术，如获得专利的金刚石喷射轮，可以用来制造超细的极其光滑的表面。此外，它还可以用其可变旋转序列和变频控制器进行精密抛光。最后，系统也易于操作和维护。高级触摸屏界面允许用户选择预编程流程，并轻松监控流程结果。SPEEDFAM Corporation还为客户提供专门的培训计划，使他们能够快速学习和了解单位的特点。