二手 SPEEDFAM 32BAW #9358880 待售
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SPEEDFAM 32BAW是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供精确的表面完整性和精加工。它由一个主加工单元、一台控制计算机和一个研磨抛光工具库组成。该工艺单元能够精确地应用具有可变参数的多个抛光步骤,以确保优越的表面光洁度和高产性能。该机器能够在单个加工晶片上同时研磨两侧。该系统的底架采用高强度钢制成,设计使用寿命长,运行平稳。研磨、研磨和抛光段由独特的旋转研磨和抛光头组成,可以高达6,000 RPM的不同速度旋转。该单元包括自动、可编程、螺旋和探测选项。研磨头具有可调节的负载设置和每一步抛光操作的压力水平。该单元还包括用于研磨操作的内置真空机。高分辨率CCD相机提供研磨、研磨和抛光工艺前后晶片的详细目视检查。自动处理中晶圆尺寸显示器可消除过度/不足的磨削。控制计算机用于存储食谱,监控和控制整个过程,并向用户提供所有必要的信息。还用于编程操作参数、存储配方、监控生产过程和收集生产数据。研磨库提供了来自不同厂商的广泛选择的研磨工具,适用于大多数晶片、尺寸和抛光应用。32BAW是一种强大而灵活的晶圆研磨、研磨和抛光工具,为高产、精密的晶圆加工提供了卓越的工艺控制和可重复性。其独特的特性和坚固的设计使这项资产成为大批量生产晶片而又不影响质量的理想选择。
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