二手 SPEEDFAM 36 DAW #9294575 待售

SPEEDFAM 36 DAW是一种功能强大、全自动的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它在当时是非常先进的，并且被设计成实现快速和精确的研磨，研磨和抛光一系列晶圆。经过优化，保证了较短的周期时间和较高的表面整理质量。该系统配备了CNC控件，允许编程和执行复杂的研磨、研磨和抛光过程。其用户友好的图形界面使操作员能够定制各种设置，而其先进的软件则能轻松找到每个单独晶圆的最佳研磨、研磨和抛光参数。它能够研磨两种不同尺寸的晶圆，最大晶圆直径为200毫米。它可以处理厚达8mm的晶片，研磨深度可达40 mm。这台机器配备了主轴电机、磨石、研磨板和三种抛光石的选件，具体取决于所需的晶圆特性。电机的驱动机构由无刷伺服电机完成，可实现高精度和重复性。集成冷却装置确保晶圆在整个过程中的温度均匀，这是获得准确结果所必需的。机器还包括晶片的自动装卸装置，由机械臂操作。它配备了用于检查晶圆表面的视觉感应器，也可以用显微镜连接集成视觉工具。一系列诊断功能可确保操作安全性。该机具有自我故障排除和预防性维护功能，并配有精密的软件程序来检测任何潜在的错误。它还为操作员提供了一种在没有任何人工干预的情况下对复杂进程进行编程和执行的方法。36 DAW已成为半导体工业中研磨、研磨和抛光工艺的可靠面板。由于其坚固的结构、精确快速的操作以及易于使用的界面，它可以产生高质量和高度均匀的晶圆表面。