二手 SPEEDFAM 36 DPAW #9287360 待售

SPEEDFAM 36 DPAW是由SPEEDFAM设计、SPEEDFAM Precision Technologies制造的全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备。它能够在介电、磁性、脆性和陶瓷材料上产生超光洁度的平面和角度。36 DPAW是一个振荡表系统，设计用于处理晶圆大小的碎片。该设备采用基于冲程的技术，可实现高工艺精度和精加工质量。振荡台通过两个阶段的切割和一个抛光步骤，以专利的"Z-度"循环运行。它在整个抛光过程中提供了稳定的工艺条件，确保了统一的工艺结果。SPEEDFAM 36 DPAW的设计包括一个用于精确定位工件台的带索引的卡盘，以及三个用于研磨、研磨和抛光的独立工作站。保持卡盘的设计，以适应晶圆大小的基片在平面和角度形状。研磨站将金刚石或立方氮化硼（CBN）等研磨介质应用于基板表面，以便从基板上切割和去除材料。研磨站跟随研磨站，将碳化硅（SiC）和金刚石磨料的组合应用到基板上，以便进一步切割和去除基板上的材料。最后，抛光站将一种溶液（如氧化铝）应用于基板，使其达到所需的表面光洁度。36 DPAW还配备了一个远程控制、易于操作的GUI,为操作人员提供操作诊断和过程监控。此外，该机还配有一个高度精确的温度控制单元，提供温度稳定的研磨、研磨和抛光工艺。温度控制装置还能够监测晶圆的设置和工艺倒角条件。总体而言，SPEEDFAM 36 DPAW是一种高效、精确的晶圆研磨、研磨和抛光工具，设计用于晶圆尺寸零件的精确加工和微加工。它是一种高度自动化的资产,具有用于高效流程周期以及温度控制和监视功能的内置智能。