二手 SPEEDFAM 36 DPAW #9294573 待售

ID: 9294573
优质的: 2011
Single side polisher 2011 vintage.
SPEEDFAM 36 DPAW是一种革命性的晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为生产级精度而设计。该系统经过精心设计,可提供精确的表面光洁度和高通量,非常适合在各种晶圆材料上实现一致、高质量的表面。该单元由几个基本组件组成:软启动36英寸研磨/抛光头、研磨/抛光头、研磨/抛光头、晶圆托盘/安装臂和循环过滤机。磨削/抛光头采用精密设计的金刚石皮带和精密的抛光工艺,以确保各种晶圆材料上最精确的表面光洁度。它采用直接驱动电动机,提供比传统交流电动机更一致的速度。此外,它的软启动功能减少了操作之间的停机时间。研磨/抛光装置采用双轴伺服刀具,可精确控制底座的旋转和行程。这样可以在晶圆表面的边缘和角点上进行可靠、高精度的研磨。其穿孔带能够轻松地研磨和消除各种表面不规则现象。此外,它的研磨/抛光头具有比其他机器更高的加速速率,从而实现更快、更可靠的性能。晶片托盘/安装臂允许每个工艺步骤快速安装和卸下晶片。其精确的位置精度使得每次操作都容易微调,并保持曲面不平坦。此外,它的内置存储容量为各种晶圆类型提供了保护。最后,再循环过滤资产可确保您的过程不断受到污垢和其他污染的保护。可以调整过滤模型以满足您的特定要求,从而允许各种应用程序。与其他系统相比,36 DPAW除了具有令人难以置信的准确性和可靠性外,还能够提供更快的研磨和抛光时间。SPEEDFAM 36 DPAW具有精确的表面光洁度、更高的吞吐率和全面的保护,是晶圆研磨、研磨和抛光操作的绝佳选择。
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