二手 SPEEDFAM 36 DPAW #9294574 待售

SPEEDFAM 36 DPAW（双面行星磨料轮）是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，为各种半导体应用提供高质量的表面饰面和精度。该系统的设计目的是提供最大吞吐量和最短的过程时间,同时尽量减少操作员的干预。36 DPAW配备了独特的行星磨削/研磨和抛光头,具有三个独立驱动的轮组,可容纳四个不同的抛光/研磨板。此功能允许多坐标和/或多步研磨和抛光操作。三个独立调节的轮组标称工作范围为+/−25 μ m，并通过伺服电机单元驱动，以确保高重复性和准确性。机器进一步配备了高解析度的视讯工具，允许精确的实时观看研磨/研磨和抛光过程。这一特征使得检查工艺参数和动态监测工件表面以准确测量和优化工艺参数成为可能。此外，该资产还采用了先进的数控控制模型，为无人值守操作编程，是生产应用的理想晶圆加工设备。SPEEDFAM 36 DPAW旨在提供最大吞吐量和最短的处理时间。可编程的主轴速度允许对各种材料进行高精度的研磨/研磨和抛光操作。该系统还能够在干燥和潮湿的环境中运行，使其适用于各种各样的过程。对于那些需要高水平工艺可重复性和准确性的产品,36 DPAW提供了广泛的工艺参数,可用于特定的研磨/研磨和抛光操作。该单元适用于需要高分辨率光学研磨和抛光以及高精度研磨操作等复杂工艺的应用。SPEEDFAM 36 DPAW设计为提供可靠、可重复的操作，使其成为高端晶圆处理的理想选择。其坚固的结构和优越的工艺监控系统保证了成品工件的高精度和高质量的表面光洁度。此外，这台机器还提供了一种可选的全闭环刀具，用于控制和监控磨削/研磨和抛光过程，从而提高精度。