二手 SPEEDFAM 36 DPAW #9372689 待售
网址复制成功！
单击可缩放
SPEEDFAM 36 DPAW是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光（DPAW）系统，专为制造当今的超薄晶圆而设计。这台机器用于研磨直径可达12英寸（305mm）且厚度可达10 μ m的晶片。它具有八件式卡盘、双研磨和研磨电机,以及数字粗加工和精加工速度控制功能。36 DPAW还具有主动过程控制（APC）、自适应研磨和精密控制系统技术。所有这些技术都旨在自动维护和优化工艺参数,以及快速响应产品特性和工艺条件的变化。这样可以确保卓越的加工效果、均匀的晶片和更清洁的工作场所。SPEEDFAM 36 DPAW还包括一个样本室，一次最多可处理30个样本。样品会自动送入腔室,并移动到加工位置进行抛光。该机还具有用于自动过程控制的可编程逻辑控制器（PLC）、保证加工过程中无污染的真空预室、用于边缘设置的板载液膜抛光机等操作。该机器由高级不锈钢制成，能够承受高负荷。旋转部件安装在精密滚珠轴承上,所有电机都安装在电机冷却机柜中,以实现最大的可靠性和降噪效果。该机还配备了触摸屏控制面板，可轻松快速地设置过程参数。36 DPAW是一种超精密机器,能够提供卓越的晶圆质量。它配备了先进的工艺技术，旨在确保尽可能高的精度、可重复性和质量。由于外形小巧，机器占用的空间很小，易于安装和维护。
还没有评论