二手 SPEEDFAM 36 GPAW-TD #9274951 待售

SPEEDFAM 36 GPAW-TD晶圆研磨、研磨及抛光设备是一种动态且用途广泛的系统，用于制备半导体晶圆，用于半导体技术的进一步加工。它利用多用途变速主轴结合振荡和上下流动能力，确保各种晶圆类型的精密研磨、研磨和抛光。该单元具有极高的可重复性和较低的循环时间,可提供出色的表面光洁度。36 GPAW-TD利用一个独立的基架来容纳主单元,最多可容纳5个通过中心杆分离并连接在一起的工艺板。主单元以直接电动机驱动为特色，具有由电动机逆变器变速驱动动态控制和驱动的交流轴电动机。板材的振荡和上下流动由机器控制，是刀具的独特特点。主轴包括一个集成的鹅毛笔驱动资产，它确保力的均匀分配，并防止主轴头的任何不对准。该模型可通过具有广泛高级功能、自动控制算法、产品库、周期监控和实时过程优化的触摸面板进行编程。设备最高转速为3600 rpm，索引转速范围为1-3600 rpm，允许对任何晶片材料进行高精度研磨、研磨、抛光。它还有一个动态控制系统，可以快速准确地监测和调整过程的变量，以确保可重复和可靠的过程条件。SPEEDFAM 36 GPAW-TD晶圆研磨、研磨和抛光装置还配备了一系列先进的安全功能，如紧急停止开关、安全卫士和内置安全协议的数字控制机器。该工具经过精心设计和优化,可最大程度地减少热降解和维护需求,确保随时间推移实现最大的运行稳定性。总体而言，36 GPAW-TD是一种多用途、动态的资产，可用于研磨、抛光和圈合各种不同的半导体晶圆材料，精度极佳。它具有高速、精确、可靠的能力，是半导体行业的理想选择。