二手 SPEEDFAM 36 GPAW #293813770 待售
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ID: 293813770
Single side polishers
(2) Working units
(1) Unit has issues:
Panel leakage
Inverter failure.
SPEEDFAM 36 GPAW是一种用途广泛的晶圆研磨、研磨和抛光设备,适用于各种工业应用。该系统专为在恶劣、腐蚀环境中的精度和生产率而设计。SPEEDFAM 36GPAW单元具有高速研磨主轴,可变速度范围为0-2000 RPM,并具有提高性能的自动润滑功能。36 GPAW机采用重型研磨臂,能够支撑50公斤重的重量,进行积极的晶圆研磨和抛光。研磨臂具有滚珠轴承旋转头,可以使研磨臂以全圆扫描方式移动,从而获得精确一致的结果。磨轮的设计是为了减少振动,确保清洁和均匀的磨削结果。该工具还具有强大的研磨主轴,以实现最高的精度和速度。研磨主轴提供0-3000 RPM的一系列速度设置,并由15HP马达提供动力,以获得更一致的结果。获得专利的浮头技术使主轴能够在整个研磨过程中与晶片保持恒定接触,提供准确和可重复的结果。资产还包括一个抛光室,用于抛光晶片表面到镜面光洁度。抛光室是利用两个主轴进行更均匀抛光的真空压力室。该室还采用了强大的除尘模式,以减少碎片和污染。36GPAW设备可以作为工厂建造的、完整的系统或单独的组件购买,以便根据客户操作的具体需要定制设备。SPEEDFAM 36 GPAW机还拥有用户友好的界面和软件包,便于跟踪和监控研磨和抛光过程。SPEEDFAM 36GPAW工具是晶圆研磨、研磨和抛光的一种通用、可靠的设备.此模型旨在提供精确且可重复的结果,同时提供快速高效的处理。强大的研磨抛光主轴、用户友好的界面、结实的研磨臂结合在一起,使36 GPAW成为晶圆研磨、研磨和抛光的可靠高效设备。
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