二手 SPEEDFAM 36 GPAW #293820364 待售
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SPEEDFAM 36 GPAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于生产具有高精度和表面光洁度的半导体晶圆和硬盘。该系统提供了许多功能来优化生产和最大化性能。该装置包括一个36英寸的研磨和研磨轮,可容纳从25毫米到300毫米的各种晶圆尺寸。此轮具有30至120 RPM的可变转速,以确保不同尺寸的晶圆产品具有更高的吞吐量和精度。车轮装有水再循环机,以提高效率。磨削、研磨和抛光工具利用机械臂自动装载晶片,可调节各种晶片尺寸的载荷高度。机械臂还允许晶片的精确定位,以最佳的过程控制。SPEEDFAM 36GPAW保持一致的高度研磨、研磨和抛光精度,精度为+/-4微米。资产配有触摸屏操作员控制面板,显示车轮速度、循环时间、研磨/研磨压力、材料去除率等所有工艺参数。这样可以在过程中出现任何不确定或变化时轻松调整并快速响应操作员。36 GPAW中还包括安全功能,如紧急停止按钮和车轮超载时自动关闭。36GPAW为任何晶圆研磨、研磨和抛光操作员提供了安心,因为它提供了高质量和精确度的结果,并以最小的工作量和最大的过程控制提供了易于使用的过程。SPEEDFAM 36 GPAW具有先进的功能,是任何需要高精度和精确度的生产工艺的理想选择。
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