二手 SPEEDFAM 36 GPAW #9203265 待售
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SPEEDFAM 36 GPAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,专门为满足当今半导体工业的高精度要求而设计。采用高清楚、PLC控制的研磨介质控制系统,保证了硅片研磨、研磨和抛光过程的均匀。SPEEDFAM 36GPAW具有多个加工头,可提高研磨、研磨和抛光效率。它的头部设计用于手动、无触摸或全自动操作。手动操作时,磁头带有广泛的可调参数,以保证高端半导体加工所需的精度。同时,该机组先进的PLC控制确保了可重复性、准确性和成本效益。36 GPAW配备了先进的闭环介质控制机,保证了均匀一致的硅片研磨、研磨、抛光工艺。该工具由PLC、带泵的水箱、介质容器和介质馈线组成。PLC能够自动、精确地控制介质的供应和耐磨性,确保每次运行都能获得可重复的结果。介质送料机设计用于单石和多石加工,具有每石给药和定位的特点。36GPAW还配备了冷却和过滤设备,可确保晶圆的最低加热和喷射材料的最大清除。该型号能够在单个循环中研磨、研磨和抛光直径达6.5英寸(165mm)的芯片。它也可以适应适应各种半导体加工需求的定制尺寸轮子。此外,一系列安全功能可确保设备始终安全运行。紧急停止和自动重新启动系统都包含在标准软件包中。该单元还包括一个"set and forget"警报监控功能,提醒用户更换媒体过滤器板,以及一个锁定/标记机器,以增加用户安全。总体而言,SPEEDFAM 36 GPAW是一种高效、可靠的晶圆研磨、研磨和抛光工具,将为任何半导体加工需求提供高精度和成本效益。其先进高效的磨料控制资产确保了每次均匀的工艺,而其其他特点则使其成为市场上最高效的晶圆研磨、研磨和抛光系统之一。
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