二手 SPEEDFAM 36 GPAW #9287337 待售
网址复制成功！
单击可缩放
SPEEDFAM 36 GPAW是一种全自动、可编程的晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于在单个夹具设置过程中研磨、研磨和抛光扁平和成角度的晶片边缘。SPEEDFAM 36GPAW是一个最先进的系统，结合了先进的机器人技术、高精度和优越的工艺控制，提供无与伦比的可靠性和质量的晶片边缘研磨、研磨和抛光操作。36 GPAW单元由多个模块组成。机器人加载夹具模块由自动机械臂和夹具机组成，确保晶片对磨轮的加载快速、精确。背面研磨模块包括精密夹紧工具和砂轮，以便可靠地研磨晶圆背面。边缘研磨模块包括自动定位器，用于精确定位晶片进行研磨，并确保所有边缘都经过精确研磨、研磨和抛光。研磨/抛光模块采用高精度、电子控制的旋转表和可调节的高速铁路资产，在研磨/抛光盘上精确定位晶片。背面研磨和研磨/抛光模块具有集成的轮廓映射功能,可确保最佳的边缘轮廓质量。36GPAW还包括自动质量控制检查模型，以验证成品的质量。SPEEDFAM 36 GPAW提供了许多附加功能,包括流程可追踪性、统计流程控制（SPC）功能、可编程工作中心和直观的触摸屏控制界面。适用于所有半导体加工应用，包括半导体器件制造、MEMS/MOEM、先进晶圆制造、薄膜技术。该设备设计为提供卓越的性能,并结合了精确度、可重复性和最大吞吐量。SPEEDFAM 36GPAW提供的高级自动化确保了最高质量级别的可重现结果,而高级过程控制保证了高批量制造和苛刻生产要求的可靠性和可重复性。
还没有评论