二手 SPEEDFAM 36 SPAW #9087740 待售

ID: 9087740
优质的: 1991
Systems 1991 vintage.
SPEEDFAM 36 SPAW设备是晶圆研磨、研磨和抛光的最先进的机器。它是一个全自动系统,旨在为制造微机械设备等薄膜电路提供精确和可重复的条件。该单元由研磨站、研磨站、抛光站和控制站四个主要组成部分组成。磨床站装有一个垂直旋转研磨主轴,由一台能够高速达到3000 rpm的电动机驱动。可调高度表允许操作员调整研磨的设置。真空机和冷却系统确保磨削过程中的温度得到控制。另外,还有两个独立的磨轮,一个用于表面刮削,一个用于磨削。研磨站设有水平旋转台,用于样品研磨。真空优化穿孔片研磨技术有助于确保均匀的光洁度.抛光站设计为提供高品质的抛光。该工艺包括一个可调节的往复级、一个完全可编程的抛光器接口和一个微处理器。微机有助于监控抛光的全过程。最后,控制站是工具的心脏,能够存储多达500个程序,可以编辑和重用。它具有8.5英寸液晶显示屏,可提供实时数据和图形演示。此外,它还具有用户友好的触摸屏界面,可以快速轻松地调整流程。SPEEDFAM 36SPAW资产提供了加速的处理时间,可以加快生产速度,同时仍能提供准确的结果。此外,它还通过提供用户可编程的参数(如研磨速度、压力设置以及研磨和抛光参数)来实现过程的灵活性。该型号还配备了安全功能,如紧急停止开关和操作员在场传感器,以确保在发生紧急情况时可以停止该过程。36 SPAW设备是一种设计用于晶圆研磨、研磨和抛光的功能强大、可靠的机器,可用于实现最优质的薄膜ciruits。
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