二手 SPEEDFAM 36 SPAW #9257662 待售

SPEEDFAM 36 SPAW（超精密磨料轮）是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是SPEEDFAM系列精密抛光系统的旗舰系统，设计用于更高精度和更高吞吐量的操作。SPEEDFAM 36SPAW采用独特的可调C型框架设计，便于携带和安装，同时保持磨料轮和金刚石合圈与晶圆齐平，以提高研磨工艺的准确性和一致性。该装置还拥有一个大的36英寸主研磨臂，用于增加工作面积，使大小晶片能够同时工作。本机磨轮采用集成直驱伺服电机操作，可快速、精确地控制研磨研磨过程。该电机还能够达到高达35,000 RPM的速度,以确保最大程度的一致性和效率。磨料轮装在一个完全封闭的界面中，该界面配有集成的除尘工具，以提高安全性和降低噪音水平。它还能够对工件直接施加精确数量的金刚石颗粒，以提高均匀性和准确性。除了这些板载功能外,36 SPAW还配备了一个可选的四条街索引夹具,该夹具允许车轮在四个不同的部分中往返晶圆。这样可以在相对较短的时间内快速完成多个晶片的表面整理。36SPAW适用于各种工作，包括回磨、表面抛光和扁平研磨。其性能精确度高，适用于玻璃、陶瓷、金属等多种材料。它是任何精度、高通量、高精度操作的绝佳选择。