二手 SPEEDFAM 36B #9217163 待售

SPEEDFAM 36B是用于半导体材料单面或双面加工的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该装置能够将各种粗糙度水平的圆形基板磨削、打圈和抛光到纳米范围内。该系统可用于基板的机械抛光，如微电子和光电元件，以提高产量和生产率。该单元包括两个主要组件：36B刀架和抛光台.刀架握住磨轮、研磨板和抛光垫；其设计保证了不同材料在研磨、研磨和抛光过程中不会因结构稳定而受损。多轴抛光台允许在过程的每个步骤中进行精确移动，从而提供可重复性和吞吐量精度。该表还具有闭环精密驱动单元，允许在操作过程中进行精确的速度和反馈监控。该机具有广泛的研磨能力，具有多种轮毂选择。标准磨轮转速为800至8000 rpms。此外,该工具还具有SPEEDFAM CW-5A抛光头,为各种研磨和抛光应用提供一致的速度控制。研磨板也可以从直径0到80毫米进行研磨和研磨操作。抛光垫提供6,000 rpm的最大转速，直径6英寸，与所有抛光头兼容。SPEEDFAM 36B是一种用途广泛且可靠的晶圆研磨、研磨和抛光设备,适用于高精度应用。它具有研磨、膝盖和抛光到近乎完美的表面的能力，允许增加屈服和更严格的公差。其特点包括用于精确速度控制的闭环反馈回路和可调节的车轮转速。该单元的零维护设计需要最少的操作员干预，使其成为依赖于过程和生物敏感操作的绝佳选择。