二手 SPEEDFAM 48 BW #9254521 待售
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ID: 9254521
Lapping system, 48"
Four ring open face style machine
Standard segmented lapping plate, 48"
Inside diameter of conditioning rings: 18"
Total ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Equipped with:
Hardened steel segmented lapping plate, 48"
(4) Conditioning rings
Assorted pressure weights
Water cooling feature of lapping plate
Slurry pump and tank unit
10-H.P. Main drive motor and controls
Automatic cycle timer control
Wired for 3 / 60 / 220-440 V operation.
SPEEDFAM 48 BW是一种高性能的多用途晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于在半导体晶片上精确高效地生产高质量的平坦、镜面。该系统采用专利接触技术，确保研磨工艺流畅、均匀，并具有广泛的可调选项，以满足应用的特殊要求。该装置包括一个48英寸直径的转盘，用于晶圆安装，以及一个速度高达10,000 RPM的大功率主轴电机，用于快速研磨和抛光操作。磨削工艺适用于从精细抛光到激进磨削的各种应用,并且该机具有垂直主轴位移,以确保在最小破损的情况下高效运行。机器还包括各种研磨选项，从非常精细到粗糙，以产生最佳的应用效果。研磨工艺也适用于一系列的应用，从生产高质量的半导体晶片到研磨磨料。该工具还包括一个集成的抛光工艺，它提供了可调的速度和压力设置，以确保最高质量的抛光表面。此外,该机器还具有全自动清洁和维护程序,为长期生产需求提供了高效的解决方桉。总体而言,48 BW是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光资产,旨在准确高效地生产高质量的成品。
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