二手 SPEEDFAM 48BTAW #9199491 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9199491
优质的: 1970
Lapping system
Segmented lap plate diameter: 48”
Standard segment thickness: 1-1/2”
Inside diameter of the 4 conditioning rings: 18”
Total ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Down pressure per head: 1260 Lbs
(4) Cylinder size: 5” Diameter
Equipped with:
48” Diameter segmented lapping plate
(4) Air pressure hold downs with pressure plates
(4) Geared conditioning rings
10 Hp main drive motor & controls
Water cooled table system
Outside parts loading table
Slurry pump & tank unit
Automatic cycle timer control
Push button control station
1970 vintage.
SPEEDFAM 48BTAW是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于半导体和其他精密设备制造应用。它具有优越的表面光洁度和均匀性,具有优化的磨料磨削能力和极低的振动特性,可实现最大的吞吐量和产量。该系统包括一个多阶段的3速操作,允许精确控制和调整晶片的形状和表面光洁度使用磨削和抛光轮的组合。这一过程使得各种材料,包括硅、石英、原材料和晶片能够精确研磨、研磨和抛光。48BTAW具有高精度的扁平主轴传动装置,可实现工件进料和高速操作的平稳、精确,确保整个操作过程中的最佳控制和精度。内置的计算机控制工艺功能允许对速度、进料和冷却剂进行调整以获得可重复的结果。用户友好的操作员界面可以轻松选择所需的研磨参数,液晶屏以图形和数字形式显示参数,便于查看和解释。该单位还配备了多项安全功能,包括综合信号输出安全机和带有防震墙的噪声室,以保护工区附近的人员。SPEEDFAM 48BTAW配备了坚固的自动停止运动控制功能和故障安全制动工具,以防止在操作过程中对磨轮和工件造成损坏。该资产还具有先进的温度控制能力,以确保最佳砂轮温度和内置的密封冷却剂模型,在操作过程中冷却车轮并提供清洁。此外,该设备还包括一些其他功能,如粒度分销商和自动车轮超速保护。总体而言,48BTAW是一种高效可靠的晶圆研磨、研磨和抛光系统,具有优越的表面光洁度和均匀性,具有优化的研磨能力和极低的振动特性。该装置是任何晶圆研磨、研磨和抛光应用的理想解决方桉,并已被设计为最大的吞吐量和生产产量。
还没有评论