二手 SPEEDFAM 50 DPAW #9363678 待售

ID: 9363678
Polisher.
SPEEDFAM 50 DPAW晶圆研磨、研磨和抛光设备是一个全面的、可定制的系统,可最大限度地提高硬质和软质材料的加工效率。该单元设计用于将晶片加工成精确的半导体元件。该机采用皮带研磨、研磨和抛光的组合,能够实现各种部件的高质量精加工。该工具由一系列电动主轴组成,用于控制安装在皮带资产上的研磨和抛光介质的旋转。对50英寸直径的自动表进行评分和预处理,以减少晶片上的缺陷,并涂上类似天鹅绒的弹性背衬,以提供优异的表面研磨效果。主轴是刚性和精确定位垂直于研磨和抛光介质。此独特功能可确保最佳的库存清除,并最大程度地减少成品的变化。50 DPAW利用磨料抛光轮实现持久、均匀的光洁度。根据所需的光洁度选择磨料介质。抛光轮的分析砂砾(0-800)为低粗糙度,细砂(800-1500)为较高。此外,还包括一个过程中的监测模型,以提供晶圆进度的实时监测。该设备利用光学显微镜实时查看样品,以便对成品进行质量分析。该系统还包括各种研磨流体和润滑剂,以便对晶片进行高效清洗和脱脂。还包括一个自动拉紧装置,以确保精确的介质张力和可重复的性能。SPEEDFAM 50 DPAW是为最大的工艺效率而设计的,具有可调的工艺速率和可重复的条件。这台机器还包括其他行业领先的功能,用于快速晶圆处理和高投资回报。50 DPAW是高精度半导体应用的理想选择,肯定会超出客户的需求。
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