二手 SPEEDFAM 50 DPAW #9363680 待售

SPEEDFAM 50双平面磨料轮（DPAW）晶圆研磨、研磨和抛光设备为半导体加工提供了先进的技术和最佳的解决方桉。该系统采用优化的双平面设计，操作方便，为加工各种尺寸和基板的半导体晶片提供了最佳效果。DPAW单元的设计旨在提供对研磨和抛光参数的出色控制,在处理不同材料或针对特定应用进行微调时无需进行多次更改。该机采用双平面设计，采用两个同时研磨的车轮，以优化研磨和研磨性能。DPAW使用可调节的电源进给,以确保任一方向的适当磨削力。这种特性允许在处理像半导体晶片这样的细腻材料时进行更高水平的控制。为了获得更均匀的结果，该工具还采用了由可编程变频器驱动的柔性高扭矩研磨主轴。这保证了均匀的研磨速度和力，无论晶圆厚度或直径。SPEEDFAM 50 DPAW资产的编程和操作简单直观，可以通过图形用户界面完成。该接口允许设置几个参数，如研磨速度、方向和力，以及像数字动态补偿这样的特性，以提供磨削的最大均匀性。该模型允许用户在触摸屏面板上监视、控制和记录所有关键处理参数,如砂砾速度、研磨浓度和总研磨时间。此外，设备还可以配置额外的高级功能，如自动参数控制和集成的自校准系统。最后，DPAW单元由于其强大的机械设计和先进的技术，在性能上高度可靠和一致。重型钢筋结构具有优异的耐用性和减振性能，提高了机器的使用寿命，确保了重复精度。该机还设计为免维护，具有易于访问的清洁点，使其长时间保持最佳运行。50 DPAW工具采用先进、用户友好的设计,为半导体加工应用提供了最佳解决方桉。