二手 SPEEDFAM 50 GPAW-TD #9377484 待售

SPEEDFAM 50 GPAW-TD是SPEEDFAM製造的高精度晶圆研磨、研磨及抛光设备。该系统可用于研磨，膝盖和抛光半导体基板具有卓越的精度和表面光洁度。该单元采用双电机CNC控制的高速主轴,最高可运行40000 RPM。这允许在客户定义的CNC程序中高速研磨和研磨过程,并提供卓越的精度和表面可靠性。各种研磨板提供精密的光洁度、质地、粗糙度和研磨斜率控制。该机还配备了一个无张力调节工具，以增强表面光洁度，帮助减少磨削和磨削裂缝。50 GPAW-TD配备了多种金刚石和金刚石涂层磨料磨轮。这允许用户磨削和膝盖基板精确的尺寸与最小的完整性损失。可调节的样条段允许研磨轮和研磨轮的可靠对齐，使用户能够产生高可重复性的结果。资产还具有自动加载单元,可减少手动干预并允许一致的过程中质量控制。可调磨料浓度控制也可用于定制研磨和研磨过程。PLC控制的真空模型最多可容纳24个样品持有者，从而提高晶圆研磨工艺的效率。真空设备还与在研磨和研磨过程中夹持和提升晶片的坚固夹套系统集成在一起。SPEEDFAM 50 GPAW-TD配备了高效的除尘装置，可防止粉尘和碎片污染晶圆。该机器还配备了一个安全百叶窗，可提供更多的防止碎屑和清洁工具的维护。该资产的特点是一个过程周期，并有一步一步的指导，以允许快速设置和易于操作。50 GPAW-TD是各种扁平球形基板的高精度研磨和研磨的理想选择-提供高质量的表面,具有较低的快速预热时间和较低的额定功率。