二手 SPEEDFAM 50 GPAW #9267589 待售

SPEEDFAM 50 GPAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光系统，可以在晶圆表面上产生优越的平坦性和平行性。它能够在一个过程中产生任何组合的双面研磨和单面研磨和抛光过程。通过将光学控制的超精密工作台和研磨/研磨/抛光头与稳定、高功率的主轴电机相结合,实现了高性能和可操作性。50 GPAW设计用于加工直径最大为200毫米、总厚度最大为50毫米的半导体晶片。它具有很高的精度，在纳米范围内具有平坦性和平行性，在亚微米范围内具有轮廓精度。该机的磨头由一台超精密主轴电机（可旋转9500 rpm）和一个精细粒度的运动控制（可精确定位磨轮）组成。由于其优越的机械设计，由于温度变化和高精度，它能够以最小的热变形产生最佳的研磨性能。其研磨头具有新开发的研磨板，提供了较高的平整精度和较低的热变形率。它还利用内部压力系统，这是能够产生最佳的接触压力与单个操作。抛光头可以对复杂的表面进行均匀抛光,使用的抛光垫可以调整以产生任何所需的轮廓。SPEEDFAM 50 GPAW为高效运行而设计，具有自动化装卸系统、自动研磨/研磨/抛光头控制和切割参数调整。它的人机界面使操作变得容易，并使用户能够快速达到期望的效果。50 GPAW是研磨、研磨和抛光晶片的理想解决方桉。它提供了卓越的精确度、高输出、多用途的工作流程和高效的操作。