二手 SPEEDFAM 50 GPAW #9294584 待售

SPEEDFAM 50 GPAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于生产薄、高精度晶圆。该系统采用集成工作托盘,每批最多可容纳50个6英寸晶片,从而实现高效批量生产。该单元还包括一个空气轴承型线性主轴，能够实现高刚度和最高精度。主轴具有一台获得专利的"可调自动化和控制"机器,可对每个晶片的进料速率、车轮位置、通过次数和抛光时间等因素进行自动、精确的控制。研磨是在铸铁夹具上使用CBN或金刚石研磨轮与特殊的粘贴一起完成的。磨轮具有可调径向磨损，可精确控制晶圆厚度和平整度。研磨过程遵循研磨，用各种类型的抛光布和磨料浆料完成。研磨过程涉及一个旋转圆盘，也是可索引的，以达到晶圆厚度的均匀性。抛光工艺用于实现超平滑,并利用获得专利的SLG （SigmaLink Grind）工艺提供卓越的表面整理质量。50 GPAW还使用自动晶片处理工具,将晶片和润滑剂从研磨和抛光阶段转移到后完成阶段。该资产能够处理范围广泛的晶圆尺寸,直径不超过6英寸,厚度各不相同。该型号安全、用户友好,并以最少的手动干预提供高端饰面。SPEEDFAM 50 GPAW为晶圆研磨、研磨和抛光提供了完美的解决方桉。其高端技术在短生产周期内提供了优异的效果，确保了用这台机器生产的晶片精度高，质量最高。