二手 SPEEDFAM 50 SPAW #9212224 待售

SPEEDFAM 50 SPAW（单板自动晶片研磨、研磨和抛光）设备是一种集成晶片研磨、研磨和抛光解决方桉，旨在最大限度地减少下一代晶片级产品的加工时间。该系统能够在单个平台上研磨、研磨和抛光晶片，为传统的多步骤工艺解决方桉提供了高效、经济高效的替代方桉。50 SPAW使用各种不同的转速和进料速率的主轴头操作,可自动连续加工直径达300毫米、厚度达100毫米的晶片,离心力高达10克,实现高速主轴精度和研磨均匀性。该单元包括一系列特定于工艺的部件，包括金刚石磨削和磨料轮、晶圆支架和抛光乔木，允许用户根据自己的需求定制应用，以实现精细表面饰面、高精度尺寸公差和优越的平整度。为了提高生产率,SPEEDFAM 50 SPAW具有高效的连续环路机器,处理后的晶圆将被发送到下一个工作站进行下一步处理,并且所有工具都自动加载到工具中,而无需操作人员在此过程中进行干预。可以通过资产的'操作员站'终端现场进行编程，在那里可以调整设置和修改程序，而模型维护则通过定期在线检查轻松进行，减少停机时间并最大化输出。50 SPAW的设计具有最前沿的安全性,包括操作员被封装在隔音、防光的外壳中,而一些互锁和故障保险箱确保以最小的干扰和最大的耐用性继续运行。综上所述,SPEEDFAM 50 SPAW是晶圆研磨、研磨和抛光的终极解决方桉.50 SPAW具备"全板"功能、高精度工艺参数、自动化选项、"无维护"设计和一系列安全功能,极有可能彻底改变业界。