二手 SPEEDFAM 52 SPAW #9073253 待售

SPEEDFAM 52 SPAW是一种多功能晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为各种应用提供高精度的表面处理。它为半导体器件基板、陶瓷晶片、光学材料和压电材料的苛刻晶片研磨和抛光提供了最先进的技术。该系统由两个单元组成：一个装有驱动电机和张紧器的顶置支架,以及一个安装在较低位置的反向旋转晶片研磨段,该研磨段采用可选的速度稳定单元。支架安装在刚性柱上，具有操作员控制的调速控制，允许高度精确的表面研磨和抛光。圆形预压轴承可最大程度地减小振动,强大的无级变速驱动电机即使在高速下也能确保精确的物料去除。安装较低的反向旋转晶片研磨段设有两个垂直可调的高精度金刚石研磨和抛光头。该金刚石头具有柔性背板，精湛的同心度。抛光头可通过操作员控制的调速控制进行调节，在去除材料的同时允许精确重复和均匀的结果。52 SPAW还包括摩擦、拉伸和高压晶片研磨和研磨板的选择,以达到抛光性能的极致。此外，该机设计为接受研磨和抛光冷却剂，确保在整个工作过程中一个一致的研磨和抛光环境。SPEEDFAM 52 SPAW的精确度和效率非常高,非常适合各种晶圆研磨应用,包括半导体器件基板、陶瓷晶圆、光学材料和压电,每次都能获得惊人的效果。