二手 SPEEDFAM 59 SPAW #9073254 待售

SPEEDFAM 59 SPAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体工业。它是一个多轴系统，可以同时处理多达11个晶圆。利用其高精度的低振动操作，可以在一次操作中进行研磨、抛光和平整度测量。59 SPAW配备了五个伺服驱动轴。X、Y、Z轴可实现研磨/抛光头的三维运动和旋转；此外,B轴和A轴可分别在X和Y方向上进行四维标记和45度定位。另外两个A-B轴允许加工全表面积的磨削或抛光。SPEEDFAM 59 SPAW提供了一个完全封闭的密室的无尘环境。它装有气压和加湿器，适用于低温、高湿度条件下的研磨和抛光。综合提取再循环装置提供整体清洁和空气质量控制。该单元适用于单晶和多晶晶片的研磨抛光。它容纳了八种类型的磨盘、树脂粘结金刚石圆盘、磨料磨角和超声波切盘，适合各种特定的应用。此外，它还使用喷墨机在工件上精确应用研磨/抛光化合物。59 SPAW提供了与现有线路集成的便利。它是高度可编程的,允许用户根据自己的要求保存配方和设置参数。可选的"自动加载/卸载"计算机可帮助处理批处理和常规作业。它还具有外部诊断端口,便于远程维护。最后，SPEEDFAM 59 SPAW是半导体工业中一种高效可靠的晶圆研磨、研磨和抛光工具。它提供了极好的精确度，易于操作，和一个完全封闭的室无尘操作。附加功能,如自动加载/卸载资产、喷墨分配器、可选的A-B轴和外部诊断端口,使59 SPAW成为具有挑战性的晶圆处理应用的绝佳选择。